主要特征: 采用L型移动桥式,由两到三个**等高块稳固支撑Y向槽型导轨,左立柱与横梁、滑架、鞍座共同组成移动桥,提高了运动质心,减少了阿贝误差 ? X轴和Z轴均采用**精加工及经过表面硬质阳极化处理的航空铝合金 Y轴采用一体化槽型精密花岗石导轨? ? Z轴采用**的可调式气动平衡设计,采用柔性悬挂系统,避免了轴向运动和传动系统之间的干涉问题,提高了测量机的精度和长期稳定性 ? 各运动轴均采用直流伺服驱动+增强型同步带,确保运动的平稳和准确定位 三轴均采用预载荷空气轴承,运动更平稳,导轨**受磨损? ? 三轴均采用**欧洲进口光栅尺,系统分辨率可达0.078um;同时采用一端固定,一端自由伸缩的方式安装,减少了光栅尺的变形,**在温度变化时的线性伸缩 ? 采用海克斯康为Function Plus**打造的IDC-II控制系统,21项误差空间修正技术和自动调谐功能,**了大型机器的动态性能和测量精度 ? 测量机三轴都配置温度传感器,实时监控温度变化,自动补偿由于温度变化而引起的误差 软件为业界成员的PC-DMIS BASIC (/PC-DMIS? PREMIUM),功能强大,易学* 规格型号与技术指标: 800 1000 机器型号 F10128 F121510 F122010 F122510 F12310 行程(mm) X 1000 1200 1200 1200 1200 Y 1200 1500 2000 2500 3000 Z 800 1000 1000 1000 1000 测量空间(mm) Dx 1100 1300 1300 1300 1300 Dy 1960 2340 2840 3340 3840 Dz 950 1150 1150 1150 1150 Dx1 153 173 173 173 173 Dy1 250 280 280 280 280 花岗岩平台螺纹孔尺寸(mm) M1 133 156 156 156 156 M2 105 120 120 120 120 Mx 250 300 300 300 300 My 250 300 300 300 300 外形尺寸(mm) L 2370 2820 3320 3820 4320 W 1694 1980 2100 2100 2100 H 3150 3460 3750 3750 3750 承重(kg) 1200 2000 2000 2000 2000 机器重量(kg) 4000 5300 8500 10500 12500 MPEe(μm) 4.0+L/300 5.0*L/300 5.0*L/300 7.0*L/300 7.0*L/300 MPEp(μm) 4.5 5.5 5.5 5.5 5.5 光栅尺分辨率(μm) 0.4 0.4 0.4 0.4 0.4 空间移动速度(mm/s) 200 200 200 200 200 空间移动加速度(mm/ s2) 450 450 450 450 450 流量/供气压力 150 NI/min,0.45Mpa 150 NI/min,0.45Mpa 150 NI/min,0.45Mpa 150 NI/min,0.45Mpa 150 NI/min,0.45Mpa 注:工作环境为温度(20±2)℃, 湿度为45%-75%